金融界2024年12月14日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“托盘的旋转支撑结构及半导体外延设备”的专利，授权公告号CN222139263U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种托盘的旋转支撑结构，包括：旋转轴；多个支撑臂，其呈散射状分布在所述旋转轴的侧壁上，每个所述支撑臂包括第一端和第二端，所述第一端与所述旋转轴连接，所述第二端沿所述旋转轴向外延伸；多个调节柱，所述调节柱具有不同高度，每个所述支撑臂的第二端可更换设置不同高度的所述调节柱，使多个所述调节柱的顶面位于同一水平面内以共同支撑一托盘。本实用新型能够有效减小托盘旋转时的上下跳动，提高设备稳定性以及外延薄膜的均匀性和成膜质量。本实用新型通过设置不同高度的调节柱，调节旋转支撑结构的高度和水平度，使多个调节柱的顶面位于同一水平面内共同支撑托盘，消除了托盘旋转时的上下跳动。

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